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深圳市微光睿智科技申请基于半凝固体的半导体产品除尘方法及除尘系统专利，提高了对半导体器件的除尘效果:除尘系统
金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市微光睿智科技有限公司申请一项名为“基于半凝固体的半导体产品除尘方法及除尘系统”的专利，公开号CN119897323A，申请日期为2025年3
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金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市微光睿智科技有限公司申请一项名为“基于半凝固体的半导体产品除尘方法及除尘系统”的专利，公开号CN119897323A，申请日期为2025年3